プラズマエッチングのコンピュータシミュレーション--計算(非平衡)プラズマ物理からのアプローチ

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プラズマエッチングノコンピュータシミュレーションケイサンヒヘイコ
Computer Simulation of Plasma Etching : An Approach by Computer-aided Nonequilibrium Plasma Physics

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収録刊行物

プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 69 (1), p15-26, 1993-01

名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

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Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/3805479; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3805479; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10451233

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