アモルファスシリコン薄膜の評価法(技術ノート)
書誌事項
- タイトル別名
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- アモルファス シリコン ハクマク ノ ヒョウカホウ ギジュツ ノート
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説明
記事分類: 電気工学--電気材料・部品
収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 61 (10), p1058-1063, 1992-10
東京 : 応用物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360200846464
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- NII論文ID
- 40000280731
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- NDL書誌ID
- 3795410
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles