Five Mirror System Derived from the Numerical Solutions of All Zero 3rd-Order Aberrations and Zero 5th-Order Spherical Aberration for Deep-Ultraviolet Optical Lithography
書誌事項
- タイトル別名
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- Five Mirror System Derived from the Num
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説明
記事分類: 印写工学
収録刊行物
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 23 (3), p198-206, 1994-03
東京 : 日本光学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360202094848
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- NII論文ID
- 40001174978
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- NII書誌ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL書誌ID
- 3867822
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
