観察面の上下振動の影響を受けない光を用いた超精密面の全方向粗さ測定
Bibliographic Information
- Other Title
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- カンサツメン ノ ジョウゲ シンドウ ノ エイキョウ オ ウケナイ ヒカリ オ
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Description
記事分類: 測定・測定器
Journal
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 16 (12), p548-552, 1987-12
東京 : 日本光学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360202155520
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- NII Article ID
- 40001174355
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- NII Book ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL BIB ID
- 3150585
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles