RFグロー放電による高分子表面のスパッタエッチング機構

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  • RF グロー ホウデン ニ ヨル コウブンシ ヒョウメン ノ スパッタ エッチ

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記事分類: 物理学--分子・物性

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  • 応用物理

    応用物理 53 (8), p727-732, 1984-08

    東京 : 応用物理学会

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