2. ヘリコン波プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 II

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タイトル別名

プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断-2-(2)ヘリコン波プラズマ
プロセスヨウノアタラシイコウミツドプラズマノセイセイトシンダ
2. Helicon Wave Plasmas : Production and Diagnostics of New High-Density Plasmas for Processing II
プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断-2-(2)ヘリコン波プラズマ

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収録刊行物

プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 74 (1), 19-28, 1998-01

名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

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詳細情報詳細情報について

Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/4390557; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4390557; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10452965

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