電子付着質量分析法によるプラズマ中の高次ラジカル計測

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タイトル別名
  • デンシ フチャク シツリョウ ブンセキホウ ニ ヨル プラズマ チュウ ノ コウジ ラジカル ケイソク

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収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 68 (10), 1148-1152, 1999-10

    東京 : 応用物理学会

参考文献 (14)*注記

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