収束イオンビームとマルチチャネル並列検出系を用いたサブミクロンSIMS
書誌事項
- タイトル別名
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- シュウソク イオン ビーム ト マルチ チャネル ヘイレツ ケンシュツケイ オ
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抄録
記事分類: 物理学--原子・原子核・素粒子
収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 56 (6), p746-751, 1987-06
東京 : 応用物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360214689024
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- NII論文ID
- 40000279439
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- NDL書誌ID
- 3127442
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles