半導体の電子ビームドーピングにおける表面拡散
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ ノ デンシ ビームドーピング ニ オケル ヒョウメン カクサン
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収録刊行物
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- 大同工業大学紀要 / 大同工業大学研究・産学連携支援室 編
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大同工業大学紀要 / 大同工業大学研究・産学連携支援室 編 (35), 141-144, 1999
名古屋 : 大同工業大学研究・産学連携支援室
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360383112448
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- NII論文ID
- 110000191548
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- NII書誌ID
- AN00136917
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- ISSN
- 02855372
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- NDL書誌ID
- 4966172
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles