X線回折によるスパッタ膜の3次元応力測定についての一考察
書誌事項
- タイトル別名
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- Xセン カイセツ ニ ヨル スパッタ マク ノ 3ジゲン オウリョク ソクテイ
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抄録
記事分類: 物理学--分子・物性
収録刊行物
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- 群馬高専レビュー = The Gunma-Kohsen review / 群馬工業高等専門学校教育研究委員会 編
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群馬高専レビュー = The Gunma-Kohsen review / 群馬工業高等専門学校教育研究委員会 編 (8), p5-9, 1989
前橋 : 群馬工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360390000768
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- NII論文ID
- 40004465589
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- NII書誌ID
- AN00213370
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- ISSN
- 02886936
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- NDL書誌ID
- 3675710
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles