SOI技術による三次元回路素子

書誌事項

タイトル別名
  • SOI ギジュツ ニ ヨル 3ジゲン カイロ ソシ
  • エレクトロニクス技術を支える新素材<特集> ; 応用事例
  • エレクトロニクス ギジュツ オ ササエル シンソザイ トクシュウ ; オウヨウ ジレイ

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抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

  • 電子技術

    電子技術 26 (2), p52-55, 1984-02

    東京 : 日刊工業新聞社

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