Characterization of Defects in Liquid Phase Epitaxial InP and InGaAsP Crystals by Scanning Electron Microscopy and Electron Beam Induced Current Method
書誌事項
- タイトル別名
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- CCharacterization of Defects in Liquid P
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抄録
記事分類: 物理学--分子・物性--半導体
収録刊行物
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- Journal of electron microscopy
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Journal of electron microscopy 33 (1), p1-9, 1984
Oxford : Published for the Japanese Society of Electron Microscopy by Oxford University Press
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573329772487168
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- NII論文ID
- 40005327942
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- NII書誌ID
- AA00697060
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- ISSN
- 00220744
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- NDL書誌ID
- 2991917
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles