原子レベル計測のための試料自動作製技術 : FIBマイクロサンプリング｢NB5000｣

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タイトル別名
  • ゲンシ レベル ケイソク ノ タメ ノ シリョウ ジドウ サクセイ ギジュツ : FIB マイクロサンプリング 「 NB5000 」
  • Auto Fabrication Technology of Electron Microscope Specimen for Atomic Order Measurement
  • 特集 測る : 社会・産業分野に貢献する計測技術
  • トクシュウ ハカル : シャカイ ・ サンギョウ ブンヤ ニ コウケン スル ケイソク ギジュツ

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抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他

収録刊行物

  • 日立評論

    日立評論 94 (2), 184-187, 2012-02

    東京 : 日立評論社

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