最近の磁気浮上型ターボ分子ポンプ
書誌事項
- タイトル別名
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- サイキン ノ ジキ フジョウガタ ターボ ブンシ ポンプ
- 特集 半導体・FPD・新素材の検査/製造装置
- トクシュウ ハンドウタイ FPD シンソザイ ノ ケンサ セイゾウ ソウチ
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収録刊行物
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- 島津評論 / 島津評論編集部 [編]
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島津評論 / 島津評論編集部 [編] 62 (1・2), 27-33, 2005
京都 : 島津評論編集部 ; 1940-
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330259447040
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- NII論文ID
- 40006993358
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- NII書誌ID
- AN00107544
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- ISSN
- 0371005X
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- NDL書誌ID
- 7700067
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
