高抵抗基板上へのダマシン配線用Cuめっき装置開発
書誌事項
- タイトル別名
-
- コウテイコウ キバンジョウ エノ ダマシン ハイセンヨウ Cu メッキ ソウチ カイハツ
- Development of Cu damascene electroplating machines for interconnects on highly resistive substrates
この論文をさがす
説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
-
- エバラ時報 = Ebara engineering review
-
エバラ時報 = Ebara engineering review (222), 10-18, 2009-01
東京 : 荏原製作所「エバラ時報」編集部
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520573330496534656
-
- NII論文ID
- 40016474513
-
- NII書誌ID
- AN1022883X
-
- ISSN
- 03853004
-
- NDL書誌ID
- 10173378
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
-
- データソース種別
-
- NDLサーチ
- CiNii Articles
