EUVL用超低膨張ガラスのゼロCTE温度評価法の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- EUVLヨウ チョウテイボウチョウ ガラス ノ ゼロ CTE オンド ヒョウカホウ ノ カイハツ
- Development of Evaluation Method of Zero-CTE Temperature of EUVL-grade Ultra-Low-Expansion Glass
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収録刊行物
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- 旭硝子財団助成研究成果報告 = Reports of research assisted by the Asahi Glass Foundation
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旭硝子財団助成研究成果報告 = Reports of research assisted by the Asahi Glass Foundation 1-6, 2010
東京 : 旭硝子財団
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330698515200
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- NII論文ID
- 40019973563
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- NII書誌ID
- AA12084182
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- ISSN
- 18820069
- 09199179
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- NDL書誌ID
- 025241431
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles