圧電・超音波材料 反応性スパッタ法によるAlN薄膜の作製--薄膜バルク弾性波共振器(FBAR)への適用
書誌事項
- タイトル別名
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- アツデン ・ チョウオンパ ザイリョウ ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル AlN ハクマク ノ サクセイ--ハクマク バルク ダンセイハ キョウシンキ(FBAR)ヘ ノ テキヨウ
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収録刊行物
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- 超音波techno / 超音波techno編集部 編
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超音波techno / 超音波techno編集部 編 17 (5), 16-20, 2005
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330764078848
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- NII論文ID
- 40006920482
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- NII書誌ID
- AN10068970
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- ISSN
- 09162410
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- NDL書誌ID
- 7487629
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
