直流2極スパッタ法で作成されたZnO圧電膜超音波トランスジューサの絶縁破壊特性
書誌事項
- タイトル別名
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- チョクリュウ 2キョク スパッタホウ デ サクセイサレタ ZnO アツデン マ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会 編
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電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会 編 62 (10), p689-695, 1979-10
東京 : 電子通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330779381248
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- NII論文ID
- 40002555667
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- NII書誌ID
- AN00153304
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- ISSN
- 03736113
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- NDL書誌ID
- 2066724
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles