SEMの新しい展開--低加速電圧で高分解能をもつSEMの開発へ向けて
書誌事項
- タイトル別名
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- SEM ノ アタラシイ テンカイ テイ カソク デンアツ デ コウブンカイノウ
- ナノメータの世界<特集>
- ナノメータ ノ セカイ トクシュウ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 日本の科学と技術
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日本の科学と技術 28 (245), p81-86, 1987-05
東京 : 日本科学技術振興財団・科学技術館
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330925912960
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- NII論文ID
- 40003008094
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- NII書誌ID
- AN00132064
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- ISSN
- 00290327
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- NDL書誌ID
- 3130839
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles