プラズマ重合による有機薄膜
書誌事項
- タイトル別名
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- プラズマ ジュウゴウ ニ ヨル ユウキ ハクマク
- 身近になったCVD技術<特集>
- ミジカ ニ ナッタ CVD ギジュツ トクシュウ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 化學工業
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化學工業 38 (10), p846-850,879, 1987-10
東京 : 小峰工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573331003520256
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- NII論文ID
- 40000413903
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- NII書誌ID
- AN00037245
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- ISSN
- 04512014
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- NDL書誌ID
- 3143591
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles