大サイズ・高分解能イメージングプレートを使うX線画像検査システム「FCR AC-5」
書誌事項
- タイトル別名
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- ダイ サイズ コウ ブンカイノウ イメージング プレート オ ツカウ X センガゾウ ケンサ システム FCR AC 5
- 特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置
- トクシュウ 1 ハンドウタイ セイゾウ ニワ Xセン ヒハカイ ケンサ ソウチ
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収録刊行物
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- 映像情報industrial
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映像情報industrial 38 (13), 47-50, 2006-12
東京 : 産業開発機構
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573331124452736
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- NII論文ID
- 40015197778
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- NII書誌ID
- AN00270669
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- ISSN
- 13461362
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- NDL書誌ID
- 8591394
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
