可変焦点型リングビームを用いた同軸内面形状計測
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- カヘン ショウテンガタ リングビーム オ モチイタ ドウジク ナイメン ケイジョウ ケイソク
- Small size probe for inner profile measurement using optical fiber ring beam device
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- 光計測シンポジウム論文集
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光計測シンポジウム論文集 59-61, 2013
東京 : 日本光学測定機工業会
