FIBによる透過型電子顕微鏡用試験片の作製と観察

書誌事項

タイトル別名
  • FIB ニ ヨル トウカガタ デンシ ケンビキョウヨウ シケンヘン ノ サクセイ ト カンサツ
  • Sample preparation and observation for transmission electron microscope by FIB
  • 特集 Ra,Rzだけじゃない! 仕上げ面の表と"裏",その評価と応用
  • トクシュウ Ra,Rz ダケ ジャ ナイ! シアゲ メン ノ ヒョウ ト"ウラ",ソノ ヒョウカ ト オウヨウ

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