接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 : 測長原子間力顕微鏡を用いた事例

書誌事項

タイトル別名
  • セッショクシキ エアリアル ヒョウメン アラサ ソクテイ ノ ギジュツ ドウコウ : ソクチョウ ゲンシ カンリョク ケンビキョウ オ モチイタ ジレイ
  • Recent Trends in Contact-Type Aerial Surface Roughness Measurement : Examples by Using a Metrological Atomic Force Microscope
  • 特集 トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向
  • トクシュウ トライボロジー ノ ケンキュウ ・ カイハツ オ ササエル ヒョウメン アラサ ソクテイ ・ ケッカン ケンシュツ ギジュツ ノ サイシン ドウコウ

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