不純物と熱応力の効果を考慮したCz法によるシリコン単結晶成長における点欠陥挙動に関する数値解析

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  • フジュンブツ ト ネツ オウリョク ノ コウカ オ コウリョ シタ Czホウ ニ ヨル シリコンタンケッショウ セイチョウ ニ オケル テン ケッカン キョドウ ニ カンスル スウチ カイセキ
  • Numerical simulations considering effects of thermal stress and impurities on the behavior of intrinsic point defects in Si crystal growing by Cz method
  • 特集 バルク結晶の欠陥・不純物の制御と評価
  • トクシュウ バルク ケッショウ ノ ケッカン ・ フジュンブツ ノ セイギョ ト ヒョウカ

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