マグネトロンスパッタを用いたベーマイト上のSERS活性基板の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- マグネトロンスパッタ オ モチイタ ベーマイト ジョウ ノ SERS カッセイ キバン ノ サクセイ
- Preparation of SERS active substrate on boehmite using magnetron sputtering
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 39 4p-, 2022-11
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
