電解液を用いない環境調和型電気化学機械研磨
書誌事項
- タイトル別名
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- デンカイエキ オ モチイナイ カンキョウ チョウワガタ デンキ カガク キカイ ケンマ
- 物理化学ナノ製造プロセスの最前線
- ブツリ カガク ナノ セイゾウ プロセス ノ サイゼンセン
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収録刊行物
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- 日本機械学会誌
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日本機械学会誌 126 (1259), 18-21, 2023-10
東京 : 日本機械学会 ; 1938-
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520579377427555072
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- NII書誌ID
- AN00187394
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- ISSN
- 00214728
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- NDL書誌ID
- 033117823
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
