結晶格子間隔を用いた光干渉計補間不確かさ測定装置
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- ケッショウ ゴウシ カンカク オ モチイタ ヒカリ カンショウケイ ホカン フタシカサ ソクテイ ソウチ
- Interpolation uncertainty measurement system of optical interferometer using crystal lattice spacing
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- 光計測シンポジウム論文集
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光計測シンポジウム論文集 1-4, 2022
東京 : 日本光学測定機工業会