半導体基板研磨用シリカ超微粒子の合成とその研磨特性
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ キバン ケンマヨウ シリカ チョウ ビリュウシ ノ ゴウセイ ト ソノ ケンマ トクセイ
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収録刊行物
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- 日本文理大学紀要 = Bulletin of Nippon Bunri University / 日本文理大学紀要編集委員会 編
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日本文理大学紀要 = Bulletin of Nippon Bunri University / 日本文理大学紀要編集委員会 編 32 (1), 31-37, 2004-03
大分 : 日本文理大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832206034688
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- NII論文ID
- 40006529873
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- NII書誌ID
- AN00091637
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- ISSN
- 02873036
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- NDL書誌ID
- 7160007
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles