硬X線光電子分光法を用いた半導体デバイスの分析
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- コウXセン コウデンシ ブンコウホウ オ モチイタ ハンドウタイ デバイス ノ ブンセキ
- Hard X-ray photoelectron spectroscopy for semiconductor device analysis
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Journal
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- 放射光 : 日本放射光学会誌 = Journal of the Japanese Society for Synchrotron Radiation Research / 日本放射光学会 編
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放射光 : 日本放射光学会誌 = Journal of the Japanese Society for Synchrotron Radiation Research / 日本放射光学会 編 22 (1), 20-29, 2009-01
大阪 : 日本放射光学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832473440000
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- NII Article ID
- 10024731541
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- NII Book ID
- AN10075706
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- ISSN
- 09149287
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- NDL BIB ID
- 10160950
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
