Pr(EtCp)3を用いた原子層堆積法によるPr酸化膜の形成

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  • Pr EtCp 3 オ モチイタ ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨル Pr サンカ マク ノ ケイセイ
  • Formation of Pr oxide by atomic layer deposition using Pr(EtCp)3
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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