小特集 ドライプロセスによるバリア膜形成の原理とその応用

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タイトル別名

ショウトクシュウドライプロセスニヨルバリアマクケイセイノゲンリトソノオウヨウ
Special feature: Principle and application of barrier film formation by dry processing

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記事種別: 特集

収録刊行物

表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 61 (10), 670-693, 2010-10

東京 : 表面技術協会

詳細情報詳細情報について

Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10861349; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10861349

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データソース種別

小特集ドライプロセスによるバリア膜形成の原理とその応用