小特集 ドライプロセスによるバリア膜形成の原理とその応用
Bibliographic Information
- Other Title
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- ショウトクシュウ ドライプロセス ニ ヨル バリア マク ケイセイ ノ ゲンリ ト ソノ オウヨウ
- Special feature: Principle and application of barrier film formation by dry processing
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Abstract
記事種別: 特集
Journal
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- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
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表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 61 (10), 670-693, 2010-10
東京 : 表面技術協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832630306048
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- NII Article ID
- 40017348343
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 09151869
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- NDL BIB ID
- 10861349
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles