高分子ブロック共重合体のDirected Self-Assemblyとリソグラフィーへの展開

書誌事項

タイトル別名
  • コウブンシ ブロック キョウジュウゴウタイ ノ Directed Self Assembly ト リソグラフィー エ ノ テンカイ
  • Directed Self-Assembly of Block Copolymers for Lithographic Applications
  • 特集 半導体を極める高分子
  • トクシュウ ハンドウタイ オ キワメル コウブンシ

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