小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み
Bibliographic Information
- Other Title
-
- コガタ コウエネルギー シュウソク イオンビーム ケイセイ ソウチ カイハツ ニ ムケタ トリクミ
- Approach to development of a compact MeV gases ion nanobeam system for proton beam writing
- 特集 高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用
- トクシュウ コウエネルギーイオンビーム オ モチイタ ナノ マイクロ コウゾウ ソウセイ ギジュツ ト ソノ オウヨウ
Search this article
Journal
-
- 放射線 = Ionizing radiation
-
放射線 = Ionizing radiation 35 (2), 87-96, 2009-12
[東京] : 応用物理学会放射線分科会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853832664272768
-
- NII Article ID
- 10026204531
-
- NII Book ID
- AN00313954
-
- ISSN
- 02853604
-
- NDL BIB ID
- 10551100
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM35(科学技術--物理学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN