マイクロプラズマの微細加工への応用
Bibliographic Information
- Other Title
-
- マイクロプラズマ ノ ビサイ カコウ エ ノ オウヨウ
- Application of microplasmas to microfabrication technology
- 特集 マイクロプラズマの最前線
- トクシュウ マイクロプラズマ ノ サイゼンセン
Search this article
Journal
-
- 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌
-
材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌 47 (3), 107-111, 2010
東京 : 日本材料科学会 ; 2002-
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853832698967168
-
- NII Article ID
- 10026403782
-
- NII Book ID
- AA11602237
-
- ISSN
- 13474774
-
- NDL BIB ID
- 10757026
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
