近接覚・触覚コンボセンサを用いた周波数変調近接計測
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- キンセツカク ・ ショッカク コンボセンサ オ モチイタ シュウハスウ ヘンチョウ キンセツ ケイソク
- Proximity Measurement with Frequency-modulated Probe Light Using Proximity and Tactile Combo Sensor
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4, 2016-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
