熱酸化による銅表面酸化膜成長過程の構造調査

書誌事項

タイトル別名
  • ネツ サンカ ニ ヨル ドウ ヒョウメン サンカ マク セイチョウ カテイ ノ コウゾウ チョウサ
  • Study for the structure of copper surface film in the growing process by thermal oxidation
  • 機構デバイス
  • キコウ デバイス

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