AR-XPSによる種々の表面処理したIn0.53Ga0.47As表面の化学結合状態の評価

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  • AR-XPS ニ ヨル シュジュ ノ ヒョウメン ショリ シタ In0.53Ga0.47As ヒョウメン ノ カガク ケツゴウ ジョウタイ ノ ヒョウカ
  • AR-XPS Study on Chemical Bonding State of In0.53Ga0.47As Surface treated by Various Surface Treatments
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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