AR-XPSによる種々の表面処理したIn0.53Ga0.47As表面の化学結合状態の評価
Bibliographic Information
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- AR-XPS ニ ヨル シュジュ ノ ヒョウメン ショリ シタ In0.53Ga0.47As ヒョウメン ノ カガク ケツゴウ ジョウタイ ノ ヒョウカ
- AR-XPS Study on Chemical Bonding State of In0.53Ga0.47As Surface treated by Various Surface Treatments
- シリコン材料・デバイス
- シリコン ザイリョウ ・ デバイス
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 111 (249), 53-58, 2011-10
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832726987520
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- NII Article ID
- 110008900167
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 023340877
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles