クリーンルーム有機物汚染用QCMセンサーの表面改質による感度の向上
Bibliographic Information
- Other Title
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- クリーンルーム ユウキブツ オセンヨウ QCM センサー ノ ヒョウメン カイシツ ニ ヨル カンド ノ コウジョウ
- Enhancing the sensitivity of quartz crystal microbalance (QCM) sensor for monitoring gaseous organic contaminants in clean rooms by use of its surface modification
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Journal
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- 材料技術 = Material technology
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材料技術 = Material technology 28 (3), 117-123, 2010
[東京] : 材料技術研究協会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832751184640
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- NII Article ID
- 40017222933
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- NII Book ID
- AN1005644X
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- ISSN
- 02897709
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- NDL BIB ID
- 10775156
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
