LaAlO/Ge構造へのALD-Al2O3界面制御層挿入の効果

書誌事項

タイトル別名
  • LaAlO Ge コウゾウ エノ ALD Al2O3 カイメン セイギョソウ ソウニュウ ノ コウカ
  • Effect of ALD-Al2O3 layer on interfacial reaction between LaAlO and Ge
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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