チャネル長を3nmに微細化した接合レストランジスタの電気特性

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Other Title
  • チャネルチョウ オ 3nm ニ ビサイカ シタ セツゴウ レストランジスタ ノ デンキ トクセイ
  • Electrical Performances of Junctionless-FETs at 3nm-Channel Length
  • シリコン材料・デバイス・IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術)
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス ・ IEDM トクシュウ(センタン CMOS デバイス ・ プロセス ギジュツ)

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