書誌事項
- タイトル別名
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- キョクタン シガイコウ オ モチイタ 6 インチマスク ノ イソウ ケッカン ケンサ
- At Wavelength Inspection of 6-inch Extreme Ultraviolet Lithography Mask Blank
- 実用化に向かう極端紫外リソグラフィー
- ジツヨウカ ニ ムカウ キョクタン シガイ リソグラフィー
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収録刊行物
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 41 (3), 138-143, 2012-03
東京 : 日本光学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832899766272
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- NII論文ID
- 10030157439
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- NII書誌ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL書誌ID
- 023593824
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles