超LSIとプラズマ,ビームプロセス
書誌事項
- タイトル別名
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- チョウ LSI ト プラズマ ビーム プロセス
- ビームとプラズマの化学<特集テーマ>
- ビーム ト プラズマ ノ カガク トクシュウ テーマ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 化学と工業 = Chemistry & chemical industry
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化学と工業 = Chemistry & chemical industry 40 (4), p286-289, 1987-04
東京 : 日本化学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832908113152
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- NII論文ID
- 40000421504
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- NII書誌ID
- AN00037562
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- ISSN
- 00227684
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- NDL書誌ID
- 3131431
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles