SiO2中のB、 P、 As、 Sbの拡散の雰囲気依存
Bibliographic Information
- Other Title
-
- SiO2 チュウ ノ B P As Sb ノ カクサン ノ フンイキ イゾン
Search this article
Journal
-
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
-
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 103 (149), 1-6, 2003-06-27
東京 : 電子情報通信学会
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853832911784832
-
- NII Article ID
- 110003308364
-
- NII Book ID
- AA1123312X
-
- ISSN
- 09135685
-
- NDL BIB ID
- 6645779
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
