衝撃波蒸着法により生成されたTiとTiN薄膜の特性
書誌事項
- タイトル別名
-
- ショウゲキハ ジョウチャクホウ ニ ヨリ セイセイサレタ Ti ト TiN ハ
この論文をさがす
抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
-
- 広島電機大学・広島自動車工業短期大学研究報告 = Memoirs of Hiroshima-Denki Institute of Technology and Hiroshima Junior College of Automotive Engineering / 広島電機大学, 広島自動車工業短期大学 編
-
広島電機大学・広島自動車工業短期大学研究報告 = Memoirs of Hiroshima-Denki Institute of Technology and Hiroshima Junior College of Automotive Engineering / 広島電機大学, 広島自動車工業短期大学 編 (22), p23-30, 1989-12
広島 : 広島電機大学[ほか]
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853832925884032
-
- NII論文ID
- 40003290744
-
- NII書誌ID
- AN00213789
-
- ISSN
- 02860562
-
- NDL書誌ID
- 3655780
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles