DCプラズマ援用CVDを用いた触媒薄膜断面における垂直配向CNT成長

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タイトル別名
  • DC プラズマ エンヨウ CVD オ モチイタ ショクバイ ハクマク ダンメン ニ オケル スイチョク ハイコウ CNT セイチョウ
  • Vertically aligned CNT growth on sectional plane of catalytic thin film using DC plasma-enhanced CVD
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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