ポリマー支援ゾル-ゲル法と超臨界乾燥による多結晶SiC基板へのHfO₂多孔質厚膜の形成
Bibliographic Information
- Other Title
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- ポリマー シエン ゾルーゲルホウ ト チョウリンカイ カンソウ ニ ヨル タケッショウ SiC キバン エ ノ HfO ₂ タコウシツ アツマク ノ ケイセイ
- Fabrication of Thick HfO₂ Porous Coating Layer on Polycrystalline SiC Substrate by Polymer-assisted Sol-gel Process and Supercritical Drying
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Journal
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- 耐火物
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耐火物 67 (6), 276-280, 2015-06
東京 : 耐火物技術協会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832953385728
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- NII Article ID
- 40020496286
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- NII Book ID
- AN00136247
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- ISSN
- 00398993
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- NDL BIB ID
- 026502070
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
