オージェ電子分光法を利用した微小異物分析
Bibliographic Information
- Other Title
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- オージェ デンシ ブンコウホウ オ リヨウ シタ ビショウ イブツ ブンセキ
- 特集 加工面を評価する装置と評価事例
- トクシュウ カコウメン オ ヒョウカ スル ソウチ ト ヒョウカ ジレイ
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Journal
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 50 (2), 77-80, 2006-02
東京 : 砥粒加工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833103588608
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- NII Article ID
- 10017253672
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- NII Book ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL BIB ID
- 7822418
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles