半導体製造装置用途のフッ素樹脂製流量計および流体部品のレーザ溶着
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウト ノ フッソ ジュシセイ リュウリョウケイ オヨビ リュウタイ ブヒン ノ レーザ ヨウチャク
- Laser Welding for Flowmeters and Fluid Components Made of Fluoroplastic Applied for Semiconductor Manufacturing Equipment
- 特集 フッ素系樹脂材料の接着技術
- トクシュウ フッソケイ ジュシ ザイリョウ ノ セッチャク ギジュツ
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収録刊行物
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- 日本包装学会誌
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日本包装学会誌 27 (4), 205-208, 2018
東京 : 日本包装学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833196838528
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- NII論文ID
- 40021650349
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- NII書誌ID
- AN10475307
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- ISSN
- 09185283
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- NDL書誌ID
- 029191354
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN16(科学技術--機械工学・工業--包装)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles