三次元LSIに向けたはんだと接着剤のハイブリッド接合技術と表面処理技術

書誌事項

タイトル別名
  • サンジゲン LSI ニ ムケタ ハンダ ト セッチャクザイ ノ ハイブリッド セツゴウ ギジュツ ト ヒョウメン ショリ ギジュツ
  • Hybrid Solder-Adhesive Bonding and Surface Treatment Techniques for 3D LSI
  • 高密度実装を牽引する材料技術とヘテロインテグレーション論文特集
  • コウミツド ジッソウ オ ケンイン スル ザイリョウ ギジュツ ト ヘテロインテグレーション ロンブン トクシュウ

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